ÀúÀÚ´Â 1977³â ºÎ»ê¿¡¼ ž ±º 4³â 4°³¿ùÀ» Á¦¿ÜÇÏ°í ´ëÇпø Á¹¾÷ ¶§±îÁö ºÎ»ê¿¡¼ ÀÚ¶ú´Ù. ´ëÇпø Á¹¾÷ ÈÄ Ã³À½ È£ÁÖ¿Í Çʸ®ÇÉÀ¸·Î 9°³¿ù°£ ÇØ¿Ü¿©Çà ¹× ¾îÇп¬¼ö¸¦ ¶°³µ°í, Á÷Àå »ýÈ° Áß Áß±¹, ÀϺ» µî¿¡¼ ÇØ¿Ü ±Ù¹« °æÇèÀ» ÇÏ¿´´Ù. ºÎ°æ´ëÇб³´ëÇпø ±â°è°øÇаú¸¦ Á¹¾÷ÇßÀ¸¸ç, Á÷Àå »ýÈ° Áß ±Ý¿À°ø°ú´ëÇб³¿¡¼ ½Å¼ÒÀç°øÇÐ ¹Ú»çÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÏ¿´´Ù. ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â Áø°ø ÇöóÁ ±â»ó ÁõÂø¹ýÀÎ SPUTTERING, PECVDÀÇ °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î·Î È°µ¿ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿îµ¿À» ÁÁ¾ÆÇØ Á¶±â Ã౸ȸ µî¿¡¼ È°µ¿ÇÏ´Ù ¹«¸À» ´ÙÄ£ µÚ ¿ì¿¬È÷ °È±â¸¦ Á¢ÇÏ°Ô µÇ¾ú°í, »ç´Ü¹ýÀÎ Çѱ¹Ã¼À°ÁøÈïȸ¿¡¼ ÁÖÃÖÇÏ´Â 3.1Àý ±â³ä 120km ¹«¹Ú°È±â, ¼¿ï ±¹Á¦°È±â ´ëȸ µî¿¡ Âü°¡ÇÏ¿´´Ù. À̸¦ °è±â·Î ¸Å³â ÇÑ °÷ÀÇ Àå°Å¸® ±æ¿¡ µµÀüÇÒ °èȹÀ¸·Î ¡®ÇÔ²²°È±â¿øÁ¤´ë¡¯ ¹êµå¸¦ °³¼³ÇÏ¿© ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. Àú¼·Î´Â ¡¶Ã湫°ø À̼ø½Å ¹éÀÇÁ¾±º±æ °È±â ¿©Çà¡·ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÇÔ²²°È±â¿øÁ¤´ë ¹êµåÀÇ °È±â ÀÏÁ¤ ¿Ï·á (1±â) Ã湫°ø À̼ø½Å ¹éÀÇÁ¾±º±æ 670km ¿Ïº¸ (2±â) ¼¿ïµÑ·¹±æ 157km ¿ÏÁÖ (3±â) Á¦Áֿ÷¹±æ 437km, ¿µ³²¾ËÇÁ½º, ´Þ¸¶°íµµ ¿ÏÁÖ ÁøÇà ¿¹Á¤ (4±â) ÇØÆĶû±æ 770km (5±â) ¾È³ªÇª¸£³ª º£À̽ºÄ·ÇÁ (ABC) (6±â ÀÌÈÄ) ±Ô½´ ¿Ã·¹, È«Äá Æ®·¹ÀÏ, CTC, µ¹·Î¸¶Æ¼, »êƼ¾Æ°í ¼ø·Ê±æ µî
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